全球干刻蚀设备行业发展趋势-2025年市场研究报告

QYResearch调研显示，2024年全球干刻蚀设备市场规模大约为125亿美元，预计2031年将达到191.9亿美元，2025-2031期间年复合增长率（CAGR）为6.4%。未来几年，本行业具有很大不确定性，本文的2025-2031年的预测数据是基于过去几年的历史发展、行业专家观点、以及本文分析师观点，综合给出的预测。QYResearch最新报告包含美国最新关税对全球供应链的影响

刻蚀工艺主要分为两种：干法刻蚀和湿法刻蚀。干法刻蚀通过等离子气与硅片发生物理或化学反应(或结合物理、化学两种反应）的方式将表面材料去除，主要用千亚微米尺寸下刻蚀，由于具有良好的各向异性和工艺可控性已被广泛应用于芯片制造领域。
干蚀刻设备的全球生产呈集中化趋势。就2019年销售额而言，前三名生产商占据了92％的市场份额。 亚太地区是最大的消费地区，2019年占76％的市场份额，其次是北美地区，占13％的市场份额。 随着集成电路制程的不断缩小，特别是7nm-28nm先进制程的生产，干法刻蚀设备的需求不断增加。由于DUV光刻机受光波长的限制，晶圆厂需要采用多重掩膜工艺，利用刻蚀工艺实现更小的尺寸。7nm集成电路生产所需的刻蚀工序为140次，是28nm生产所需40次的2.5倍。 刻蚀设备是全球半导体设备市场中占比最高的。 全球竞争： 全球刻蚀设备市场呈现出高度集中的竞争格局，泛林半导体、应用材料、东京电子等国际巨头占据了主导地位。这些企业拥有先进的技术和丰富的客户资源，在全球市场中具有较强的竞争力。 中国竞争： 在中国市场，中微公司、北方华创等本土企业在刻蚀机领域具有较强的竞争力，成为国内刻蚀机行业的领军企业。这些企业不断加大研发投入，提高产品性能和技术水平，积极抢占市场份额。 技术进步： 随着半导体技术的不断进步，集成电路的线宽持续减小，对刻蚀设备的要求也越来越高。 3D集成电路的发展推动了刻蚀技术的发展，如3D NAND的堆叠层数竞赛对高深宽比刻蚀和多堆栈堆叠技术提出了更高要求。 市场需求： 人工智能、5G、物联网等领域的快速发展带动了半导体芯片的需求增加，进而推动了刻蚀设备市场的增长。 中国大陆连续四年成为全球最大半导体设备市场，且新建晶圆厂项目数量位居全球第一，为干刻蚀设备市场提供了广阔的发展空间。 政策支持： 中国政府不断出台相关政策支持半导体产业的发展，包括加大研发投入、提高国产化率等，这将进一步推动干刻蚀设备市场的增长。 综上所述，干刻蚀设备市场具有广阔的发展前景和巨大的市场潜力。随着技术进步、市场需求增加和政策支持的不断加强，干刻蚀设备市场将持续增长。

【2025-2031全球及中国干刻蚀设备行业研究及十五五规划分析报告】重点分析全球主要地区干刻蚀设备的产能、销量、收入和增长潜力，历史数据2020-2024年，预测数据2025-2031年。

干刻蚀设备报告主要研究内容包含：行业产品分类、应用、行业政策、产业链、生产模式、销售模式、行业发展有利因素、不利因素和进入壁垒也做了详细分析。

本文同时着重分析干刻蚀设备行业竞争格局，包括全球市场主要厂商竞争格局和中国本土市场主要厂商竞争格局，重点分析全球主要厂商干刻蚀设备产能、销量、收入、价格和市场份额，全球干刻蚀设备产地分布情况、中国干刻蚀设备进出口情况以及行业并购情况等。

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本文主要涵盖的企业名单如下所示（可根据具体需求增加或调整）
    Lam Research
    TEL
    Applied Materials
    Hitachi High-Technologies
    Oxford Instruments
    ULVAC
    SPTS Technologies
    GigaLane
    Plasma-Therm
    SAMCO
    中微
    北方华创

按照不同的产品类型，本文所涵盖的内容主要包括以下几个类别：
    电感耦合等离子体
    电容耦合等离子体
    反应离子蚀刻
    深度反应离子蚀刻
    其他

按照不同的应用领域，本文主要涵盖的内容主要包括以下几个方面：
    逻辑与存储
    微机电系统
    功率器件
    其他

干刻蚀设备行业研究报告——章节大纲：
第1章：干刻蚀设备报告统计范围、产品细分、下游应用领域，以及行业发展总体概况、有利和不利因素、进入壁垒等；
第2章：全球市场供需情况、中国地区供需情况，包括主要地区干刻蚀设备产量、销量、收入、价格及市场份额等；
第3章：全球主要地区和国家，干刻蚀设备销量和销售收入，2020-2025，及预测2026到2031；
第4章：干刻蚀设备行业竞争格局分析，包括全球市场企业排名及市场份额、中国市场企业排名和份额、主要厂商销量、收入、价格和市场份额等；
第5章：全球市场不同类型干刻蚀设备销量、收入、价格及份额等；
第6章：全球市场不同应用干刻蚀设备销量、收入、价格及份额等；
第7章：干刻蚀设备行业发展环境分析，包括政策、增长驱动因素、技术趋势、营销等；
第8章：干刻蚀设备行业供应链分析，包括产业链、主要原料供应情况、下游应用情况、行业采购模式、生产模式、销售模式及销售渠道等；
第9章：全球市场干刻蚀设备主要厂商基本情况介绍，包括公司简介、产品规格型号、销量、价格、收入及公司最新动态等；
第10章：中国市场干刻蚀设备进出口情况分析；
第11章：中国市场干刻蚀设备主要生产和消费地区分布；
第12章：报告结论。

干刻蚀设备行业报告正文目录内容如下：
1 干刻蚀设备市场概述
    1.1 干刻蚀设备行业概述及统计范围
    1.2 按照不同产品类型，干刻蚀设备主要可以分为如下几个类别
        1.2.1 全球不同产品类型干刻蚀设备规模增长趋势2020 VS 2024 VS 2031
        1.2.2 电感耦合等离子体
        1.2.3 电容耦合等离子体
        1.2.4 反应离子蚀刻
        1.2.5 深度反应离子蚀刻
        1.2.6 其他
    1.3 从不同应用，干刻蚀设备主要包括如下几个方面
        1.3.1 全球不同应用干刻蚀设备规模增长趋势2020 VS 2024 VS 2031
        1.3.2 逻辑与存储
        1.3.3 微机电系统
        1.3.4 功率器件
        1.3.5 其他
    1.4 行业发展现状分析
        1.4.1 干刻蚀设备行业发展总体概况
        1.4.2 干刻蚀设备行业发展主要特点
        1.4.3 干刻蚀设备行业发展影响因素
            1.4.3.1 干刻蚀设备有利因素
            1.4.3.2 干刻蚀设备不利因素
        1.4.4 进入行业壁垒
2 行业发展现状及“十五五”前景预测
    2.1 全球干刻蚀设备供需现状及预测（2020-2031）
        2.1.1 全球干刻蚀设备产能、产量、产能利用率及发展趋势（2020-2031）
        2.1.2 全球干刻蚀设备产量、需求量及发展趋势（2020-2031）
        2.1.3 全球主要地区干刻蚀设备产量及发展趋势（2020-2031）
    2.2 中国干刻蚀设备供需现状及预测（2020-2031）
        2.2.1 中国干刻蚀设备产能、产量、产能利用率及发展趋势（2020-2031）
        2.2.2 中国干刻蚀设备产量、市场需求量及发展趋势（2020-2031）
        2.2.3 中国干刻蚀设备产能和产量占全球的比重
    2.3 全球干刻蚀设备销量及收入
        2.3.1 全球市场干刻蚀设备收入（2020-2031）
        2.3.2 全球市场干刻蚀设备销量（2020-2031）
        2.3.3 全球市场干刻蚀设备价格趋势（2020-2031）
    2.4 中国干刻蚀设备销量及收入
        2.4.1 中国市场干刻蚀设备收入（2020-2031）
        2.4.2 中国市场干刻蚀设备销量（2020-2031）
        2.4.3 中国市场干刻蚀设备销量和收入占全球的比重
3 全球干刻蚀设备主要地区分析
    3.1 全球主要地区干刻蚀设备市场规模分析：2020 VS 2024 VS 2031
        3.1.1 全球主要地区干刻蚀设备销售收入及市场份额（2020-2025年）
        3.1.2 全球主要地区干刻蚀设备销售收入预测（2026-2031）
    3.2 全球主要地区干刻蚀设备销量分析：2020 VS 2024 VS 2031
        3.2.1 全球主要地区干刻蚀设备销量及市场份额（2020-2025年）
        3.2.2 全球主要地区干刻蚀设备销量及市场份额预测（2026-2031）
    3.3 北美（美国和加拿大）
        3.3.1 北美（美国和加拿大）干刻蚀设备销量（2020-2031）
        3.3.2 北美（美国和加拿大）干刻蚀设备收入（2020-2031）
    3.4 欧洲（德国、英国、法国和意大利等国家）
        3.4.1 欧洲（德国、英国、法国和意大利等国家）干刻蚀设备销量（2020-2031）
        3.4.2 欧洲（德国、英国、法国和意大利等国家）干刻蚀设备收入（2020-2031）
    3.5 亚太地区（中国、日本、韩国、中国台湾、印度和东南亚等）
        3.5.1 亚太（中国、日本、韩国、中国台湾、印度和东南亚等）干刻蚀设备销量（2020-2031）
        3.5.2 亚太（中国、日本、韩国、中国台湾、印度和东南亚等）干刻蚀设备收入（2020-2031）
    3.6 拉美地区（墨西哥、巴西等国家）
        3.6.1 拉美地区（墨西哥、巴西等国家）干刻蚀设备销量（2020-2031）
        3.6.2 拉美地区（墨西哥、巴西等国家）干刻蚀设备收入（2020-2031）
    3.7 中东及非洲
        3.7.1 中东及非洲（土耳其、沙特等国家）干刻蚀设备销量（2020-2031）
        3.7.2 中东及非洲（土耳其、沙特等国家）干刻蚀设备收入（2020-2031）
4 行业竞争格局
    4.1 全球市场竞争格局及占有率分析
        4.1.1 全球市场主要厂商干刻蚀设备产能市场份额
        4.1.2 全球市场主要厂商干刻蚀设备销量（2020-2025）
        4.1.3 全球市场主要厂商干刻蚀设备销售收入（2020-2025）
        4.1.4 全球市场主要厂商干刻蚀设备销售价格（2020-2025）
        4.1.5 2024年全球主要生产商干刻蚀设备收入排名
    4.2 中国市场竞争格局及占有率
        4.2.1 中国市场主要厂商干刻蚀设备销量（2020-2025）
        4.2.2 中国市场主要厂商干刻蚀设备销售收入（2020-2025）
        4.2.3 中国市场主要厂商干刻蚀设备销售价格（2020-2025）
        4.2.4 2024年中国主要生产商干刻蚀设备收入排名
    4.3 全球主要厂商干刻蚀设备总部及产地分布
    4.4 全球主要厂商干刻蚀设备商业化日期
    4.5 全球主要厂商干刻蚀设备产品类型及应用
    4.6 干刻蚀设备行业集中度、竞争程度分析
        4.6.1 干刻蚀设备行业集中度分析：全球头部厂商份额（Top 5）
        4.6.2 全球干刻蚀设备第一梯队、第二梯队和第三梯队生产商（品牌）及市场份额
5 不同产品类型干刻蚀设备分析
    5.1 全球不同产品类型干刻蚀设备销量（2020-2031）
        5.1.1 全球不同产品类型干刻蚀设备销量及市场份额（2020-2025）
        5.1.2 全球不同产品类型干刻蚀设备销量预测（2026-2031）
    5.2 全球不同产品类型干刻蚀设备收入（2020-2031）
        5.2.1 全球不同产品类型干刻蚀设备收入及市场份额（2020-2025）
        5.2.2 全球不同产品类型干刻蚀设备收入预测（2026-2031）
    5.3 全球不同产品类型干刻蚀设备价格走势（2020-2031）
    5.4 中国不同产品类型干刻蚀设备销量（2020-2031）
        5.4.1 中国不同产品类型干刻蚀设备销量及市场份额（2020-2025）
        5.4.2 中国不同产品类型干刻蚀设备销量预测（2026-2031）
    5.5 中国不同产品类型干刻蚀设备收入（2020-2031）
        5.5.1 中国不同产品类型干刻蚀设备收入及市场份额（2020-2025）
        5.5.2 中国不同产品类型干刻蚀设备收入预测（2026-2031）
6 不同应用干刻蚀设备分析
    6.1 全球不同应用干刻蚀设备销量（2020-2031）
        6.1.1 全球不同应用干刻蚀设备销量及市场份额（2020-2025）
        6.1.2 全球不同应用干刻蚀设备销量预测（2026-2031）
    6.2 全球不同应用干刻蚀设备收入（2020-2031）
        6.2.1 全球不同应用干刻蚀设备收入及市场份额（2020-2025）
        6.2.2 全球不同应用干刻蚀设备收入预测（2026-2031）
    6.3 全球不同应用干刻蚀设备价格走势（2020-2031）
    6.4 中国不同应用干刻蚀设备销量（2020-2031）
        6.4.1 中国不同应用干刻蚀设备销量及市场份额（2020-2025）
        6.4.2 中国不同应用干刻蚀设备销量预测（2026-2031）
    6.5 中国不同应用干刻蚀设备收入（2020-2031）
        6.5.1 中国不同应用干刻蚀设备收入及市场份额（2020-2025）
        6.5.2 中国不同应用干刻蚀设备收入预测（2026-2031）
7 行业发展环境分析
    7.1 干刻蚀设备行业发展趋势
    7.2 干刻蚀设备行业主要驱动因素
    7.3 干刻蚀设备中国企业SWOT分析
    7.4 中国干刻蚀设备行业政策环境分析
        7.4.1 行业主管部门及监管体制
        7.4.2 行业相关政策动向
        7.4.3 行业相关规划
8 行业供应链分析
    8.1 干刻蚀设备行业产业链简介
        8.1.1 干刻蚀设备行业供应链分析
        8.1.2 干刻蚀设备主要原料及供应情况
        8.1.3 干刻蚀设备行业主要下游客户
    8.2 干刻蚀设备行业采购模式
    8.3 干刻蚀设备行业生产模式
    8.4 干刻蚀设备行业销售模式及销售渠道
9 全球市场主要干刻蚀设备厂商简介
    9.1 Lam Research
        9.1.1 Lam Research基本信息、干刻蚀设备生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
        9.1.2 Lam Research 干刻蚀设备产品规格、参数及市场应用
        9.1.3 Lam Research 干刻蚀设备销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
        9.1.4 Lam Research公司简介及主要业务
        9.1.5 Lam Research企业最新动态
    9.2 TEL
        9.2.1 TEL基本信息、干刻蚀设备生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
        9.2.2 TEL 干刻蚀设备产品规格、参数及市场应用
        9.2.3 TEL 干刻蚀设备销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
        9.2.4 TEL公司简介及主要业务
        9.2.5 TEL企业最新动态
    9.3 Applied Materials
        9.3.1 Applied Materials基本信息、干刻蚀设备生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
        9.3.2 Applied Materials 干刻蚀设备产品规格、参数及市场应用
        9.3.3 Applied Materials 干刻蚀设备销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
        9.3.4 Applied Materials公司简介及主要业务
        9.3.5 Applied Materials企业最新动态
    9.4 Hitachi High-Technologies
        9.4.1 Hitachi High-Technologies基本信息、干刻蚀设备生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
        9.4.2 Hitachi High-Technologies 干刻蚀设备产品规格、参数及市场应用
        9.4.3 Hitachi High-Technologies 干刻蚀设备销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
        9.4.4 Hitachi High-Technologies公司简介及主要业务
        9.4.5 Hitachi High-Technologies企业最新动态
    9.5 Oxford Instruments
        9.5.1 Oxford Instruments基本信息、干刻蚀设备生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
        9.5.2 Oxford Instruments 干刻蚀设备产品规格、参数及市场应用
        9.5.3 Oxford Instruments 干刻蚀设备销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
        9.5.4 Oxford Instruments公司简介及主要业务
        9.5.5 Oxford Instruments企业最新动态
    9.6 ULVAC
        9.6.1 ULVAC基本信息、干刻蚀设备生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
        9.6.2 ULVAC 干刻蚀设备产品规格、参数及市场应用
        9.6.3 ULVAC 干刻蚀设备销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
        9.6.4 ULVAC公司简介及主要业务
        9.6.5 ULVAC企业最新动态
    9.7 SPTS Technologies
        9.7.1 SPTS Technologies基本信息、干刻蚀设备生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
        9.7.2 SPTS Technologies 干刻蚀设备产品规格、参数及市场应用
        9.7.3 SPTS Technologies 干刻蚀设备销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
        9.7.4 SPTS Technologies公司简介及主要业务
        9.7.5 SPTS Technologies企业最新动态
    9.8 GigaLane
        9.8.1 GigaLane基本信息、干刻蚀设备生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
        9.8.2 GigaLane 干刻蚀设备产品规格、参数及市场应用
        9.8.3 GigaLane 干刻蚀设备销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
        9.8.4 GigaLane公司简介及主要业务
        9.8.5 GigaLane企业最新动态
    9.9 Plasma-Therm
        9.9.1 Plasma-Therm基本信息、干刻蚀设备生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
        9.9.2 Plasma-Therm 干刻蚀设备产品规格、参数及市场应用
        9.9.3 Plasma-Therm 干刻蚀设备销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
        9.9.4 Plasma-Therm公司简介及主要业务
        9.9.5 Plasma-Therm企业最新动态
    9.10 SAMCO
        9.10.1 SAMCO基本信息、干刻蚀设备生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
        9.10.2 SAMCO 干刻蚀设备产品规格、参数及市场应用
        9.10.3 SAMCO 干刻蚀设备销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
        9.10.4 SAMCO公司简介及主要业务
        9.10.5 SAMCO企业最新动态
    9.11 中微
        9.11.1 中微基本信息、干刻蚀设备生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
        9.11.2 中微 干刻蚀设备产品规格、参数及市场应用
        9.11.3 中微 干刻蚀设备销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
        9.11.4 中微公司简介及主要业务
        9.11.5 中微企业最新动态
    9.12 北方华创
        9.12.1 北方华创基本信息、干刻蚀设备生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位
        9.12.2 北方华创 干刻蚀设备产品规格、参数及市场应用
        9.12.3 北方华创 干刻蚀设备销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）
        9.12.4 北方华创公司简介及主要业务
        9.12.5 北方华创企业最新动态
10 中国市场干刻蚀设备产量、销量、进出口分析及未来趋势
    10.1 中国市场干刻蚀设备产量、销量、进出口分析及未来趋势（2020-2031）
    10.2 中国市场干刻蚀设备进出口贸易趋势
    10.3 中国市场干刻蚀设备主要进口来源
    10.4 中国市场干刻蚀设备主要出口目的地
11 中国市场干刻蚀设备主要地区分布
    11.1 中国干刻蚀设备生产地区分布
    11.2 中国干刻蚀设备消费地区分布
12 研究成果及结论
13 附录
    13.1 研究方法
    13.2 数据来源
        13.2.1 二手信息来源
        13.2.2 一手信息来源
    13.3 数据交互验证
    13.4 免责声明



QYResearch（北京恒州博智国际信息咨询有限公司）成立于2007年，总部位于美国洛杉矶和中国北京。经过连续18年的沉淀，QYResearch已成长为全球知名的、面向全球客户提供细分行业调研服务的领先咨询机构，专注为企业提供专业的市场调查报告、行业研究报告、可行性研究、IPO咨询、商业计划书、制造业单项冠军申请和专精特新“小巨人”申请、市占率证明等服务。业务遍及世界160多个国家，在全球30多个国家有固定营销合作伙伴，在美国、日本、韩国、印度等有分支机构，在国内主要城市北京、广州、长沙、石家庄、重庆、武汉、成都、山西大同、太原、昆明、日照等地设有办公室和专业研究团队。

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