羲之”光刻机相关概念股

全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度达到0.6纳米、线宽8纳米，达到国际主流水平，标志着我国量子芯片研发获得关键性工具支撑，并填补了国内空白，构建起完整的国产替代链条。

“羲之”由浙江大学余杭量子研究院自主研发，采用100kV高能电子束直接在硅基材料上“手写”电路，无需传统掩膜版辅助。这一特性使其特别适用于量子芯片研发初期的设计验证阶段，能够灵活修改设计图案，显著提升研发效率。其精度达到0.6纳米、线宽8纳米，达到国际主流设备水平，被研发团队形象地称为“纳米神笔”，寓意在纳米尺度实现精妙“笔法”。

“羲之”光刻机相关概念股及核心逻辑如下：

一、直接受益设备与核心零部件供应商

1. 芯碁微装（688630.SH）
   • 核心逻辑：国内直写光刻系统龙头，已布局电子束光刻技术，与“羲之”研发团队协同紧密。
   • 稀缺性：掌握纳米级光刻工艺，客户覆盖长江存储、长电科技等头部企业，2025年订单量同比增300%。
   • 催化因素：量子芯片设备需求爆发或推动其毛利率提升至45%。
2. 炬光科技
   • 核心逻辑：高功率半导体激光器技术是电子束光刻机电子枪的核心基础，切入国内多家中试线。
   • 弹性空间：激光器业务占比25%，量子芯片设备需求增长将直接受益。
3. 江丰电子（300666.SZ）
   • 核心逻辑：国内少数具备高端静电吸盘量产能力的企业，其产品技术参数与“羲之”精度要求（0.6nm）高度适配。
   • 国产化协同：静电吸盘国产化率不足10%，江丰电子已进入中芯国际、台积电供应链，具备为国产光刻机提供核心部件的资质与产能。

二、特种气体与材料供应商

1. 华特气体（688268.SH）
   • 核心逻辑：国内唯一实现ArF光刻气量产的企业，客户覆盖中芯国际、台积电，市占率超60%。
   • 增量空间：电子束光刻对特种气体纯度要求更高，华特气体已布局超高纯氟碳气体研发。
2. 中船特气（688146.SH）
   • 核心逻辑：光刻用电子级三氟化氮全球市占率15%，产能扩张至2000吨/年，客户包括ASML认证厂商。
   • 技术突破：电子级氨气纯度达7N，切入长江存储供应链。

三、精密部件与光学系统供应商

1. 奥普光电（002338.SZ）
   • 核心逻辑：依托长春光机所的研发实力，在曝光光学系统领域有重要布局，为光刻机提供关键光学模组。
2. 福晶科技（002222.SZ）
   • 核心逻辑：其LBO/BBO晶体是光源核心材料，为光刻机光源系统提供稳定支持。

四、量子芯片与光子芯片应用端

1. 国盾量子（688027.SH）
   • 核心逻辑：量子通信领域龙头，与“羲之”团队合作开发量子芯片原型，2025年研发投入占比超20%。
2. 光迅科技（002281.SZ）
   • 核心逻辑：光子芯片技术领先，与浙江大学共建联合实验室，硅光模块量产能力行业第一。