全球EUV POD清洁系统市场规模到2031年将达到市场规模到2031年将达到211百万美元 以6.1%CAGR增长

2024 年EUV POD清洁系统的全球销量约为6,321台，平均市场价格约为每台20,000美元。

EUV POD清洁系统是一种专用高精度设备，用于非接触式清洁极紫外 (EUV) 光刻掩模盒（通常使用惰性气体、静电荷中和或非接触式激光清洗），以去除颗粒并防止可能降低 EUV 光刻性能的污染。这些清洗器在 7 纳米及以下先进晶圆厂中尤为重要，可实现高效、连续的掩模盒传输和清洁工作流程。其上游供应链包括精密气体控制系统、静电/激光光源以及超净材料组件供应商；中游包括原始设备制造商 (OEM) 或系统集成商，例如 Brooks Automation 和 DEVICEENG，负责设计和制造设备；下游应用包括晶圆厂清洁运营和维护团队——来自 IDM（集成设备制造商）和台积电、三星和英特尔等代工厂——确保晶圆厂内部拥有洁净的生产环境。

YHResearch调研报告提供了关于全球及中国EUV POD清洁系统全面审视了EUV POD清洁系统 市场总体规模的发展态势，剖析了竞争格局的演变，并揭示了行业集中度与企业并购活动的现象。同时，明确了行业面临的发展机遇与挑战。此外，还关注了政策导向对市场的深远影响，以及需求结构的多元化特征。最后，通过产业链分析，阐明了各环节间的相互作用与对整个行业发展的作用。 

《2025年全球及中国EUV POD清洁系统行业头部企业市场占有率及排名调研报告》（恒州诚思报告编号：2649241 ）的数据分析：2024年全球EUV POD清洁系统市场规模约134百万美元，预计未来将持续保持平稳增长的态势，到2031年市场规模将接近211百万美元，未来六年CAGR为6.1%。

研究机构: 广州恒州诚思信息咨询有限公司

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重点关注全球EUV POD清洁系统发展现状及未来趋势，核心内容如下：

（1）全球市场总体规模，分别按销量和按收入进行了统计分析，历史数据2020-2024年，预测数据2025至2031年。

（2）全球市场竞争格局，全球市场头部企业EUV POD清洁系统销量、收入、价格、市场占有率及行业排名，数据2020-2024年。

（3）中国市场竞争格局，中国市场头部企业EUV POD清洁系统销量、收入、价格、市场占有率及行业排名，数据2020-2024年，包括国际企业及中国本土企业。

（4）全球重点国家及地区EUV POD清洁系统需求结构

（5）全球EUV POD清洁系统核心生产地区及其产量、产能。

（6）EUV POD清洁系统行业产业链上游、中游及下游分析。 

 1 市场综述

1.1 EUV POD清洁系统定义及分类

1.2 全球EUV POD清洁系统行业市场规模及预测

1.2.1 按收入计，全球EUV POD清洁系统市场规模，2020-2031

1.2.2 按销量计，全球EUV POD清洁系统市场规模，2020-2031

1.2.3 全球EUV POD清洁系统价格趋势，2020-2031

1.3 中国EUV POD清洁系统行业市场规模及预测

1.3.1 按收入计，中国EUV POD清洁系统市场规模，2020-2031

1.3.2 按销量计，中国EUV POD清洁系统市场规模，2020-2031

1.3.3 中国EUV POD清洁系统价格趋势，2020-2031

1.4 中国在全球市场的地位分析

1.4.1 按收入计，中国在全球EUV POD清洁系统市场的占比，2020-2031

1.4.2 按销量计，中国在全球EUV POD清洁系统市场的占比，2020-2031

1.4.3 中国与全球EUV POD清洁系统市场规模增速对比，2020-2031

1.5 行业发展机遇、挑战、趋势及政策分析

1.5.1 EUV POD清洁系统行业驱动因素及发展机遇分析

1.5.2 EUV POD清洁系统行业阻碍因素及面临的挑战分析

1.5.3 EUV POD清洁系统行业发展趋势分析

1.5.4 中国市场相关行业政策分析

2 全球头部厂商市场占有率及排名

2.1 按EUV POD清洁系统收入计，全球头部厂商市场占有率，2020-2025

2.2 按EUV POD清洁系统销量计，全球头部厂商市场占有率，2020-2025

2.3 EUV POD清洁系统价格对比，全球头部厂商价格，2020-2025

2.4 全球第一梯队、第二梯队和第三梯队，三类EUV POD清洁系统市场参与者分析

2.5 全球EUV POD清洁系统行业集中度分析

2.6 全球EUV POD清洁系统行业企业并购情况

2.7 全球EUV POD清洁系统行业头部厂商产品列举

2.8 全球EUV POD清洁系统行业主要生产商总部及产地分布

2.9 全球主要生产商近几年EUV POD清洁系统产能变化及未来规划

3 中国市场头部厂商市场占有率及排名

3.1 按EUV POD清洁系统收入计，中国市场头部厂商市场占比，2020-2025

3.2 按EUV POD清洁系统销量计，中国市场头部厂商市场份额，2020-2025

3.3 中国市场EUV POD清洁系统参与者份额：第一梯队、第二梯队、第三梯队

4 全球主要地区产能及产量分析

4.1 全球EUV POD清洁系统行业总产能、产量及产能利用率，2020-2031

4.2 全球主要地区EUV POD清洁系统产能分析

4.3 全球主要地区EUV POD清洁系统产量及未来增速预测，2020 VS 2024 VS 2031

4.4 全球主要生产地区及EUV POD清洁系统产量，2020-2031

4.5 全球主要生产地区及EUV POD清洁系统产量份额，2020-2031

5 行业产业链分析

5.1 EUV POD清洁系统行业产业链

5.2 上游分析

5.2.1 EUV POD清洁系统核心原料

5.2.2 EUV POD清洁系统原料供应商

5.3 中游分析

5.4 下游分析

5.5 EUV POD清洁系统生产方式

5.6 EUV POD清洁系统行业采购模式

5.7 EUV POD清洁系统行业销售模式及销售渠道

5.7.1 EUV POD清洁系统销售渠道

5.7.2 EUV POD清洁系统代表性经销商

6 按产品类型拆分，市场规模分析

6.1 EUV POD清洁系统行业产品分类

6.1.1 干式清洁

6.1.2 湿式清洁

6.2 按产品类型拆分，全球EUV POD清洁系统细分市场规模增速预测，2020 VS 2024 VS 2031

6.3 按产品类型拆分，全球EUV POD清洁系统细分市场规模（按收入），2020-2031

6.4 按产品类型拆分，全球EUV POD清洁系统细分市场规模（按销量），2020-2031

6.5 按产品类型拆分，全球EUV POD清洁系统细分市场价格，2020-2031

7 按自动化程度拆分，市场规模分析

7.1 EUV POD清洁系统行业产品分类

7.1.1 半自动

7.1.2 全自动

7.2 按自动化程度拆分，全球EUV POD清洁系统细分市场规模增速预测，2020 VS 2024 VS 2031

7.3 按自动化程度拆分，全球EUV POD清洁系统细分市场规模（按收入），2020-2031

7.4 按自动化程度拆分，全球EUV POD清洁系统细分市场规模（按销量），2020-2031

7.5 按自动化程度拆分，全球EUV POD清洁系统细分市场价格，2020-2031

8 全球EUV POD清洁系统市场下游行业分布

8.1 EUV POD清洁系统行业下游分布

8.1.1 智能手机

8.1.2 AI/AR

8.1.3 智能家居设备

8.1.4 其他

8.2 全球EUV POD清洁系统主要下游市场规模增速预测，2020 VS 2024 VS 2031

8.3 按应用拆分，全球EUV POD清洁系统细分市场规模（按收入），2020-2031

8.4 按应用拆分，全球EUV POD清洁系统细分市场规模（按销量），2020-2031

8.5 按应用拆分，全球EUV POD清洁系统细分市场价格，2020-2031

9 全球主要地区市场规模对比分析

9.1 全球主要地区EUV POD清洁系统市场规模增速预测，2020 VS 2024 VS 2031

9.2 年全球主要地区EUV POD清洁系统市场规模（按收入），2020-2031

9.3 全球主要地区EUV POD清洁系统市场规模（按销量），2020-2031

9.4 北美

9.4.1 北美EUV POD清洁系统市场规模预测，2020-2031

9.4.2 北美EUV POD清洁系统市场规模，按国家细分，2024

9.5 欧洲

9.5.1 欧洲EUV POD清洁系统市场规模预测，2020-2031

9.5.2 欧洲EUV POD清洁系统市场规模，按国家细分，2024

9.6 亚太

9.6.1 亚太EUV POD清洁系统市场规模预测，2020-2031

9.6.2 亚太EUV POD清洁系统市场规模，按国家/地区细分，2024

9.7 南美

9.7.1 南美EUV POD清洁系统市场规模预测，2020-2031

9.7.2 南美EUV POD清洁系统市场规模，按国家细分，2024

9.8 中东及非洲

10 主要国家/地区需求结构

10.1 全球主要国家/地区EUV POD清洁系统市场规模增速预测，2020 VS 2024 VS 2031

10.2 全球主要国家/地区EUV POD清洁系统市场规模（按收入），2020-2031

10.3 全球主要国家/地区EUV POD清洁系统市场规模（按销量），2020-2031

10.4 美国

10.4.1 美国EUV POD清洁系统市场规模（按销量），2020-2031

10.4.2 美国市场不同产品类型 EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.4.3 美国市场不同应用EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.5 欧洲

10.5.1 欧洲EUV POD清洁系统市场规模（按销量），2020-2031

10.5.2 欧洲市场不同产品类型 EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.5.3 欧洲市场不同应用EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.6 中国

10.6.1 中国EUV POD清洁系统市场规模（按销量），2020-2031

10.6.2 中国市场不同产品类型 EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.6.3 中国市场不同应用EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.7 日本

10.7.1 日本EUV POD清洁系统市场规模（按销量），2020-2031

10.7.2 日本市场不同产品类型 EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.7.3 日本市场不同应用EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.8 韩国

10.8.1 韩国EUV POD清洁系统市场规模（按销量），2020-2031

10.8.2 韩国市场不同产品类型 EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.8.3 韩国市场不同应用EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.9 东南亚

10.9.1 东南亚EUV POD清洁系统市场规模（按销量），2020-2031

10.9.2 东南亚市场不同产品类型 EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.9.3 东南亚市场不同应用EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.10 印度

10.10.1 印度EUV POD清洁系统市场规模（按销量），2020-2031

10.10.2 印度市场不同产品类型 EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.10.3 印度市场不同应用EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.11 南美

10.11.1 南美EUV POD清洁系统市场规模（按销量），2020-2031

10.11.2 南美市场不同产品类型 EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.11.3 南美市场不同应用EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.12 中东及非洲

10.12.1 中东及非洲EUV POD清洁系统市场规模（按销量），2020-2031

10.12.2 中东及非洲市场不同产品类型 EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

10.12.3 中东及非洲市场不同应用EUV POD清洁系统份额（按销量），2024 VS 2031

11 主要EUV POD清洁系统厂商简介

11.1 Brooks Automation

11.1.1 Brooks Automation基本信息、EUV POD清洁系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.1.2 Brooks Automation EUV POD清洁系统产品型号、规格、参数及市场应用

11.1.3 Brooks Automation EUV POD清洁系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）

11.1.4 Brooks Automation公司简介及主要业务

11.1.5 Brooks Automation企业最新动态

11.2 Shibaura Mechatronics

11.2.1 Shibaura Mechatronics基本信息、EUV POD清洁系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.2.2 Shibaura Mechatronics EUV POD清洁系统产品型号、规格、参数及市场应用

11.2.3 Shibaura Mechatronics EUV POD清洁系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）

11.2.4 Shibaura Mechatronics公司简介及主要业务

11.2.5 Shibaura Mechatronics企业最新动态

11.3 STI CO.,LTD.

11.3.1 STI CO.,LTD.基本信息、EUV POD清洁系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.3.2 STI CO.,LTD. EUV POD清洁系统产品型号、规格、参数及市场应用

11.3.3 STI CO.,LTD. EUV POD清洁系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）

11.3.4 STI CO.,LTD.公司简介及主要业务

11.3.5 STI CO.,LTD.企业最新动态

11.4 GSEC GmbH

11.4.1 GSEC GmbH基本信息、EUV POD清洁系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.4.2 GSEC GmbH EUV POD清洁系统产品型号、规格、参数及市场应用

11.4.3 GSEC GmbH EUV POD清洁系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）

11.4.4 GSEC GmbH公司简介及主要业务

11.4.5 GSEC GmbH企业最新动态

11.5 SUSS MicroTec SE

11.5.1 SUSS MicroTec SE基本信息、EUV POD清洁系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.5.2 SUSS MicroTec SE EUV POD清洁系统产品型号、规格、参数及市场应用

11.5.3 SUSS MicroTec SE EUV POD清洁系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）

11.5.4 SUSS MicroTec SE公司简介及主要业务

11.5.5 SUSS MicroTec SE企业最新动态

11.6 DEVICE CO.,LTD

11.6.1 DEVICE CO.,LTD基本信息、EUV POD清洁系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.6.2 DEVICE CO.,LTD EUV POD清洁系统产品型号、规格、参数及市场应用

11.6.3 DEVICE CO.,LTD EUV POD清洁系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）

11.6.4 DEVICE CO.,LTD公司简介及主要业务

11.6.5 DEVICE CO.,LTD企业最新动态

11.7 Semiconductor Equipment Corporation

11.7.1 Semiconductor Equipment Corporation基本信息、EUV POD清洁系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.7.2 Semiconductor Equipment Corporation EUV POD清洁系统产品型号、规格、参数及市场应用

11.7.3 Semiconductor Equipment Corporation EUV POD清洁系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）

11.7.4 Semiconductor Equipment Corporation公司简介及主要业务

11.7.5 Semiconductor Equipment Corporation企业最新动态

11.8 Hugle Electronics

11.8.1 Hugle Electronics基本信息、EUV POD清洁系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.8.2 Hugle Electronics EUV POD清洁系统产品型号、规格、参数及市场应用

11.8.3 Hugle Electronics EUV POD清洁系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）

11.8.4 Hugle Electronics公司简介及主要业务

11.8.5 Hugle Electronics企业最新动态

11.9 弘塑科技

11.9.1 弘塑科技基本信息、EUV POD清洁系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.9.2 弘塑科技 EUV POD清洁系统产品型号、规格、参数及市场应用

11.9.3 弘塑科技 EUV POD清洁系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）

11.9.4 弘塑科技公司简介及主要业务

11.9.5 弘塑科技企业最新动态

11.10 博士门

11.10.1 博士门基本信息、EUV POD清洁系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.10.2 博士门 EUV POD清洁系统产品型号、规格、参数及市场应用

11.10.3 博士门 EUV POD清洁系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）

11.10.4 博士门公司简介及主要业务

11.10.5 博士门企业最新动态

11.11 家硕科技

11.11.1 家硕科技基本信息、EUV POD清洁系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位

11.11.2 家硕科技 EUV POD清洁系统产品型号、规格、参数及市场应用

11.11.3 家硕科技 EUV POD清洁系统销量、收入、价格及毛利率（2020-2025）

11.11.4 家硕科技公司简介及主要业务

11.11.5 家硕科技企业最新动态

12 研究成果及结论

13 附录

13.1 研究方法

13.2 数据来源

13.2.1 二手信息来源

13.2.2 一手信息来源

13.3 市场评估模型

13.4 免责声明

恒州诚思（YH Research）在美国、德国、日本、韩国、印度以及中国的北京、广州、深圳、石家庄、重庆、长沙、武汉、成都、大同、昆明、太原、郑州等地设有研究机构，实时实地调研，动态跟踪数据。提供灵活的参与模式，如按需研究、专职分析师、年度研究框架等。

业务领域：化学材料、机械设备、电子半导体、软件服务业、医疗器械、汽车交通、能源电力、消费品、建筑、农业、化妆品、食品饮料、药品保健品以及新兴行业等36个领域。

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