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《金基研》环洋/作者 杨起超 时风/编审
2024年以来，随着人工智能、汽车、消费电子等终端市场的持续复苏，半导体行业迎来新的增长周期，推动半导体设备市场需求上升。同时，在国家政策支持及国内外市场环境变化的驱动下，国产半导体设备行业迎来良好发展机遇。
作为一家面向全球经营的半导体设备公司，北京屹唐半导体科技股份有限公司（以下简称“屹唐股份”）凭借技术突破、客户资源优势以及供应链本土化战略，实现了营业收入及归母净利润的快速增长，并在干法去胶、快速热处理以及干法刻蚀三大核心设备领域占据全球领先地位，成长性显现。
一、国内半导体设备市场规模增长迅猛，行业国产替代加速
近年来，5G、AI（人工智能）、IoT（物联网）等正成为推动半导体需求增长的新动力，半导体产业发展前景广阔。然而受国际经济波动、终端消费市场需求变化等方面影响，半导体产业发展往往呈现一定的周期性波动特征。半导体设备企业是半导体产业的“卖铲人”，随着下游半导体市场规模的增长，半导体设备市场需求也随之上升。
1.1、全球半导体销售额整体稳增，预计2025年将启动18座新晶圆厂建造
据美国半导体行业协会（SIA）数据，2020-2024年，全球半导体销售额分别为4,930亿美元、5,559亿美元、5,735亿美元、5,268亿美元、6,276亿美元，最近五年复合增长率为6.22%。
其中，2024年全球半导体销售额同比增长19.1%，首次突破6,000亿美元大关。继2024年呈现复苏迹象后，全球半导体市场正在重回增长轨道。据SIA数据，2025年第一季度，全球半导体销售额为1,677亿美元，比2024年第一季度增长18.8%。世界半导体贸易统计组织（WSTS）预计2025年全球半导体市场规模将达到7,009亿美元，同比增长11.2%。
在5G技术普及、AI算力竞赛以及全球数字化浪潮的推动下，半导体产业市场前景广阔。SEMI发布的全球晶圆厂预测报告显示，半导体产业在2025年将启动18座新晶圆厂的建造，其中包括3座8英寸和15座12英寸晶圆厂。
1.2、近五年，全球及国内半导体设备市场规模CAGR分别为11.23%、27.62%
半导体设备的市场景气度与半导体市场规模高度相关。在下游需求的推动下，半导体设备行业市场规模快速增长。
据SEMI数据，全球半导体设备市场规模从2020年的712亿美元增至2024年的1,090亿美元，最近五年复合增长率为11.23%。
近年来，全球半导体行业正处于第三次产业转移进程中，即从韩国、中国台湾向中国内地转移。半导体产业向中国内地转移的趋势，带动了国内半导体设备需求的上升。
据SEMI数据，2020-2024年，国内半导体设备市场规模分别为187亿美元、296亿美元、283亿美元、366亿美元、496亿美元，最近五年复合增长率达27.62%。
1.3、政策及市场环境驱动半导体设备进口替代加速，国产半导体设备市占率提升
由于国际贸易环境的变化和技术封锁的压力，半导体设备国产替代成为重要趋势。
政策方面，国内政府高度重视半导体产业的发展，并出台了一系列政策措施来促进本土半导体设备行业的成长，包括税收优惠、研发资助等，以减少对外部供应链的依赖。
市场方面，随着国内经济的发展，各行各业对高性能半导体的需求持续增加，同时全球贸易摩擦不断升温，这为国产半导体设备制造商提供了广阔的市场空间。
据中国电子专用设备工业协会数据，2023年，国产半导体设备的市场占有率为25.2%，较2022年提升2.2个百分点。
综上，随着5G、AI、IoT等新兴技术的发展及普及，全球半导体销售额整体呈稳步增长趋势，推动半导体设备市场需求上升。近五年，全球及国内半导体设备市场规模CAGR分别为11.23%、27.62%。与此同时，国际贸易环境的变化和技术封锁的压力加速了半导体设备的国产替代进程。
二、近五年营收及净利润CAGR均超18%，毛利率及ROE整体呈上升趋势
作为一家国产半导体设备制造企业，屹唐股份的业绩与半导体产业整体发展高度相关。近年来，屹唐股份业绩波动增长，受益于本地化供应战略盈利能力呈上升趋势。
2.1、营收及归母净利润整体呈增长态势，近五年CAGR分别为18.97%、116.18%
据东方财富Choice数据，2020-2024年，屹唐股份的营业收入分别为23.13亿元、32.41亿元、47.63亿元、39.31亿元、46.33亿元，最近三年CAGR为18.97%，归母净利润分别为0.25亿元、1.81亿元、3.83亿元、3.09亿元、5.41亿元，最近三年CAGR达116.18%。
其中，受终端需求下滑等因素影响，2023年全球半导体设备市场增速承压，屹唐股份当年度营业收入及归母净利润与上年同期相比有所下滑。
2025年1-3月，受益于中国境内客户对半导体设备需求的持续增长，屹唐股份实现营业收入11.60亿元，同比上升14.63%；归母净利润2.18亿元，较上年同期增长113.09%。
需要说明的是，屹唐股份2025年一季度财务数据经毕马威华振会计师事务所审阅，但未经审计，下同。
2.2、供应链多元化及本土化，毛利率及ROE整体呈增长趋势
与此同时，近年来屹唐股份的毛利率及加权平均净资产收益率整体呈逐年增长趋势。
据东方财富Choice数据，2020-2024年，屹唐股份的毛利率分别为32.79%、30.21%、28.52%、35.03%、37.39%；ROE分别为0.95%、4.24%、8.20%、6.00%、9.61%。
近年来，屹唐股份持续推行包括供应链多元化、本地化在内的成本降低计划，通过批量采购、签订采购框架协议、工程设计改进等多方面措施降低采购及生产成本。
具体来看，屹唐股份干法去胶设备主要机型目前已分阶段实现国产零部件量产导入；按照屹唐股份目前的生产物料清单测算，其干法刻蚀设备备选供应商零部件覆盖程度预计可达到较高比例；快速热处理设备主要机型已完成主要子系统的国产化验证，国产零部件正分阶段导入。
2022-2024年，屹唐股份的北京生产基地正式建成并实现量产，专用设备产量分别为120台、134台、234台，逐年快速增长。
2.3、获红杉中国等知名机构投资，战略配售占发行总量30%
从股权穿透来看，截至2025年6月19日，经开区管委会下设机构财政国资局持有亦庄国投100%的股权，为屹唐股份的实际控制人。亦庄国投通过屹唐盛龙持有屹唐股份45.05%的股权，屹唐盛龙为屹唐股份的控股股东。
此番上市，屹唐股份发行数量为2.96亿股,占发行后总股本的10%,发行方式为战略配售、网下发行与网上发行相结合。
其中，战略配售占发行数量的30%，由证裕投资跟投、屹唐股份的高级管理人员与核心员工专项资产管理计划及其他参与战略配售的投资者组成。其他参与战略配售的投资者类型是具有长期投资意愿的大型保险公司或其下属企业、国家级大型投资基金或其下属企业，与屹唐股份经营业务具有战略合作关系或长期合作愿景的大型企业或其下属企业。
简言之，近年来屹唐股份的营收及归母净利润整体呈波动上升趋势，经营情况良好。同时，受益于供应链本土化战略，近年来屹唐股份的毛利率及ROE整体呈增长趋势，盈利能力提升。
三、客户覆盖全球前十及国内领先芯片制造商，境内市场收入规模快速增长
由于集成电路制造行业资本投入大、技术难度高，国内外主要集成电路制造商均呈现经营规模大但数量少的行业特征。与头部芯片制造企业建立长期、稳定的合作关系是屹唐股份实现业绩可持续增长的关键。
3.1、拥有全球顶尖客户资源，与主要客户合作年限超过10年
深耕半导体设备行业多年，屹唐股份的产品已被多家全球领先的存储芯片制造厂商、逻辑电路制造厂商等集成电路制造厂商所采用，服务的客户全面覆盖了全球前十大芯片制造商和国内行业领先芯片制造商，客户资源优势明显。
由于集成电路设备领域客户对于新产品生产效率、良率提升等要求较高，且供应商验证周期长、替代成本高，因此下游客户稳定性较高。
需要指出的是，屹唐股份的主要客户多为上市公司，这些客户是集成电路制造领域最主要参与者，客户透明度较高，规模体量大，经营状况及资信情况良好。
2022-2024年，屹唐股份与前五大客户均保持良好合作关系，除2023年新增的客户KK外，均具有多年历史合作基础，多数客户合作年限超过10年。屹唐股份业务发展具有稳定性以及可持续性。
3.2、加大境内市场开拓力度，来自中国内地收入及占比攀升
近年来，屹唐股份坚持国际化经营，以中国、美国、德国三地作为研发、制造基地，服务全球客户。中国正处于全球半导体产业转移的历史机遇期，受益于国内半导体行业景气度及成长性提升，屹唐股份已完成生产环节的境内布局，并加大境内市场开拓力度。
2022-2024年，屹唐股份来源于中国境内的收入分别为21.50亿元、17.86亿元、30.89亿元，最近三年复合增长率达19.85%。与此同时，屹唐股份来自中国境内的销售收入占比也稳步上升，分别为45.15%、45.42%、66.67%。
随着下游客户资本开支的持续增长、新建产线的旺盛需求，屹唐股份的国内业务收入有望进一步提升。
3.3、专用设备在手订单增长，业绩成长性及可持续性显现
近年来，屹唐股份拓展了多家境内外新客户，并向现有客户提供了新型机台用于验证，为后续产品销售进行准备。
得益于与下游客户的深度合作及新客户拓展，近年来屹唐股份的专用设备在手订单金额呈逐年增长趋势。
据屹唐股份问询回复函，2021-2023年及2024年1-6月，屹唐股份的专用设备在手订单金额分别为6.75亿元、7.90亿元、11.84亿元、15.46亿元。
总的来说，屹唐股份与全球顶尖芯片制造商的长期稳定合作，主要客户合作年限超过10年；境内市场的加速拓展，近三年中国内地营收CAGR达19.85%；专用设备在手订单持续增长，展现出显著的业绩成长性和可持续性。
四、三类主要产品构建产品矩阵，两类核心产品全球市占率位居第二
作为国内为数不多具备多种集成电路设备研发生产能力的平台型集成电路设备公司，屹唐股份的主要产品具有国际竞争力，获得了诸多客户的广泛认可，全球市场占有率名列前茅。
4.1、三类产品线具有国际竞争力，各品类收入占比相对稳定
多年来，屹唐股份主要从事集成电路制造过程中所需晶圆加工设备的研发、生产和销售，已形成包括干法去胶设备、快速热处理设备及干法刻蚀设备在内的三类具有国际竞争力的成熟集成电路设备产品线，并提供备品备件及相关服务。
据招股书，2022-2024年，屹唐股份的干法去胶设备收入占营业收入比例分别为44.53%、39.20%、40.31%；快速热处理设备收入占营业收入比例分别为24.51%、31.54%、24.06%；干法刻蚀设备收入占营业收入比例分别为10.54%、5.70%、12.45%。
同时，屹唐股份不断的为客户销售备品备件，备品备件业务收入随着客户量产产线上使用设备的持续增加而相应增加。2022-2024年，屹唐股份的备品备件收入占营业收入比例分别为18.12%、20.69%、20.93%。
4.2、全球累计装机数量超过4,800台，两类产品全球市占率排名第二
目前，屹唐股份的干法去胶设备、快速热处理设备已应用在多家国际知名集成电路制造商生产线上并实现大规模装机，干法刻蚀设备已应用在多家国际知名集成电路制造商生产线上并正在持续进行市场开拓。
截至2024年末，屹唐股份产品全球累计装机数量已超过4,800台，并在相应细分领域处于全球领先地位。
据Gartner统计数据，2023年，屹唐股份的干法去胶设备及快速热处理设备市场占有率均位居全球第二；干法刻蚀设备市场占有率位居全球前十。
去胶工艺可分为湿法和干法两类，湿法去胶工艺使用溶剂对光刻胶等进行溶解；干法去胶工艺主要通过等离子体和薄膜材料的化学反应完成。随着半导体节点缩小，干法去胶因精度和环保优势逐渐成为先进光刻中的一道关键步骤，设备应用也不断扩大。
据Gartner统计数据，2021年，全球集成电路制造干法去胶设备市场规模为7.54亿美元，预计2025年将达到8.56亿美元。
同时，随着集成电路性能不断提高的要求，快速热处理技术在晶圆加工/集成电路制造中的竞争优势越来越明显。相比普通炉管退火设备几小时的加热时长，快速热退火设备可在几秒甚至几毫秒内完成晶圆的快速升温，总体热预算较低。
据Gartner统计数据，2021年，全球快速热处理设备市场规模为12.13亿美元，预计2025年将达到12.36亿美元。
此外，从工艺技术来看，刻蚀可分为湿法刻蚀（WetEtching）和干法刻蚀（Dry Etching）两类。相比湿法刻蚀，干法刻蚀精确度、洁净度更高，因此随着芯片技术进入纳米阶段，干法刻蚀逐渐成为主流工艺。
据Gartner统计数据，2021年，全球集成电路制造干法刻蚀设备市场规模为199.24亿美元，预计2025年将增长至219.12亿美元。
综述之，屹唐股份已形成包括干法去胶设备、快速热处理设备及干法刻蚀设备在内的三类产品线。其中，屹唐股份干法去胶设备和快速热处理设备的市占率均位居全球第二，干法刻蚀设备亦进入全球前十，产品国际竞争力凸显。随着半导体行业对加工精度、环保性能及生产效率的要求不断提高，屹唐股份的主要产品不仅顺应了行业发展趋势，还在各自细分市场中展现了广阔的增长空间。
五、加码研发提升创新能力，产品相关技术达国际领先水平
半导体设备行业是典型的技术密集型行业，研发技术实力是行业内企业能够持续改进现有产品并开发新产品的基石。
作为一家高新技术企业，屹唐股份持续加大研发资金及人员投入，以保持技术优势和竞争力。
研发投入方面，据招股书，2022-2024年及2025年一季度，屹唐股份的研发投入分别为5.30亿元、6.08亿元、7.17亿元、1.79亿元，占当期营业收入的比例分别为11.13%、15.47%、15.47%、15.43%。
研发团队建设方面，屹唐股份在中国、美国、德国设置研发中心，以国际先进的研发理念为依托，经过多年的内部培育及外部吸纳，已形成一支具备精湛技术、创新意识及国际视野的成体系跨国研发团队。
据招股书，2022-2024年各期末，屹唐股份研发人员数量分别为247人、288人、349人，占员工总数的比例分别为25.49%、26.57%、29.28%。
经过近三十年的研发创新及技术积累，屹唐股份形成了一系列重要科研成果。
截至2025年2月11日，屹唐股份共拥有发明专利445项、实用新型专利1项。屹唐股份的科研成果已在全球主要半导体生产地区申请专利保护。
在干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备三大领域，屹唐股份实现了多项技术突破与创新，掌握了双晶圆真空反应腔设计、双晶圆反应腔真空整合传输设备平台设计、电感耦合远程等离子体源设计、远程等离子体源电荷过滤装置、晶圆双面辐射加热快速热退火技术、晶圆表面局部温度均匀度调节技术等十八项核心技术。
5.3、主要设备相关技术达国际领先水平，持续创新推出新品
值得注意的是，依托核心技术，屹唐股份的主要设备相关技术已达到国际领先水平。
首先，屹唐股份干法去胶设备达到国际领先水平，在基底材料保护、颗粒污染、芯片制造良率、单位时间生产效率、产能、综合持有成本等主要技术指标、关键性能参数方面表现出色。
其次，屹唐股份快速热处理设备达到国际领先水平，在晶圆表面器件快速热退火图形效应、晶圆表面器件热应力控制能力、晶圆表面瞬时测温能力、控温能力、单位时间生产效率、产能、综合持有成本等主要技术指标、关键性能参数方面表现出色。
最后，屹唐股份干法刻蚀设备达到国内领先、国际先进水平，在关键刻蚀工艺选择比、关键尺寸均匀性、关键尺寸稳定性、单位时间生产效率、反应腔连续生产时间、损耗品消耗成本、设备占地等主要技术指标、关键性能参数方面表现出色。
此外，屹唐股份具备整合多项核心技术以研发新产品的能力，近年来持续推出了多项新产品。
2022-2024年，屹唐股份推出了包括Hydrilis®高产能真空晶圆传输设备平台和基于该设备平台开发的Hydrilis®HMR高选择比先进光刻硬掩模材料去除设备、Novyka®系列高选择比刻蚀和原子层级表面处理设备等新产品。
总的来说，作为高新技术企业，屹唐股份凭借持续增长的研发投入和高素质的跨国研发团队，不断提升其技术实力与创新能力。目前，屹唐股份拥有国内外发明专利445项，掌握十八项核心技术。依托核心技术，屹唐股份的产品相关技术达到国际领先水平，并持续推出新产品。
六、结语
综上所述，在全球半导体产业不断发展、国产替代进程加速推进的背景下，屹唐股份作为国内领先的半导体设备制造商，实现了业绩的持续增长。最近五年，屹唐股份的营业收入及归母净利润CAGR分别为18.97%、116.18%，成长性显现。同时，近年来屹唐股份毛利率及ROE整体呈逐年增长趋势，盈利能力增强。
身处技术密集型行业，屹唐股份已形成体系化跨国研发团队及核心技术积累，具备研发技术优势。目前，屹唐股份的主要设备相关技术达到国际领先水平，主要产品具备国际竞争力，服务的客户全面覆盖了全球前十大芯片制造商和国内行业领先芯片制造商。屹唐股份的干法去胶设备、快速热处理设备市场占有率均位居全球第二，干法刻蚀设备市场占有率位列全球前十。
