前言:磷化铟是800G/1.6T光模块关键衬底材料,受下游需求推动,美国磷化铟衬底龙头AXTI股价近三个月上涨近10倍。
一. 半导体材料划分
半导体材料是导电性能介于导体和绝缘体之间的电子材料,按代际划分:
(1)第一代材料:硅、锗;工艺成熟、成本低,用于分立器件(功率半导体)、集成电路(逻辑/模拟/存储芯片)。
(2)第二代材料:砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP);光电性能卓越,用于射频器件、光通信领域。
(3)第三代材料:碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN);耐高温、耐高压、宽禁带,用于高频、高压、高温场景。
二. 磷化铟概览
磷化铟(InP)是由铟和磷组成的IIIA-V族化合物半导体:
(1)优点:禁带宽度(直接带隙结构)适合光通信器件;高电子迁移率、高饱和漂移速度适合高频器件。
(2)缺点:成本高(铟是稀缺金属;大尺寸晶圆量产难度大)、脆性大(晶体硬度高、良率较低)。
(3)应用领域:光模块(激光器、探测器、调制器)、射频器件(激光雷达、毫米波雷达、卫星通信前端)、光电传感器。
2.1 制备流程
核心流程:先制备单晶衬底,再通过外延生长制备薄膜,最后加工成芯片/器件。
(1)多晶合成:高纯铟和磷在高压炉中反应生成磷化铟多晶锭。
(2)单晶生长:主流工艺为液封直拉法(LEC法) ,生成2-6英寸衬底。
(3)外延生长:采用金属有机化学气相沉积(MOCVD),在晶圆表面沉积InP薄膜(如InGaAs),形成器件所需的量子阱、有源区等结构。

三. 磷化铟供应格局
全球磷化铟衬底市场被日本住友、美国AXT等少数几家厂商垄断;国内北京通美、云南鑫耀突破6英寸技术,加速国产进口。
云南锗业:国内最大磷化铟衬底供应商(持有云南鑫耀56.3%股份),全球份额第三,仅次于住友和AXT。
三安光电:主营化合物半导体与器件,包括氮化镓、砷化镓、碳化硅、磷化铟外延片、芯片。
跃岭股份:主营铝合金车轮,参股公司中石光芯(持股10.89%)主营磷化铟外延片、光通信芯片。
海特高新:主营航空装备与技术服务,参股公司华芯科技主营磷化铟、坤化镓等化合物半导体芯片。
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