半导体设备:后道工艺(封装测试)环节设备厂商梳理

半导体设备:后道工艺(封装测试)环节设备厂商梳理

一. 半导体制造

半导体制造包含数百道工序,可分为前道(晶圆制造)、后道(封装测试)两大阶段:

(1)前道工艺是在晶圆上构建电路结构,主要步骤:晶圆准备→薄膜沉积→光刻与显影→刻蚀→离子注入→抛光→晶圆测试。

(2)后道工艺是将晶圆切割并封装为芯片,主要步骤:晶圆减薄→晶圆切割→固晶贴装→引线键合→封装→终测。

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二. 后道环节与设备

2.1 晶圆测试

(1)目的:在晶圆切割前,测试每个裸芯片(Die)的电性能与功能,筛选出合格芯片。

(2)设备:探针台。

(3)全球格局:东京电子、东京精密、FormFactor寡头垄断。

(4)国内头部:矽电股份

2.2 晶圆减薄

(1)目的:从晶圆背面研磨减薄,以满足封装厚度要求。

(2)设备:研磨机。

(3)全球格局:Disco全球市占率超60%。

(4)国内头部:华海清科

2.3 晶圆切割

(1)目的:将晶圆切割成独立的芯片颗粒(Die)。

(2)设备:划片机。

(3)全球格局:Disco、东京精密双寡头垄断。

(4)国内头部:大族激光

2.4 固晶贴装

(1)目的:将切割后的裸芯片(Die)固定在封装基板或引线框架上,建立机械连接。

(2)设备:固晶机、贴片机。

(3)全球格局:Kulicke & Soffa、ASM Pacific、Shinkawa、Besi主导。

(4)国内头部:新益昌

2.5 引线键合

(1)目的:用金属线(金或铜)连接芯片焊盘与基板引脚,建立芯片内部电路与外部电路的电气连接。

(2)设备:引线键合机、焊线机。

(3)全球格局:Kulicke&Soffa全球市占率超60%。

(4)国内头部:快克智能、奥特维

2.6 封装

(1)目的:用环氧树脂等材料包裹芯片与焊线,形成保护外壳。

(2)设备:塑封机。

(3)全球格局:TOWA全球市占率超50%。

(4)国内头部:文一科技

2.7 终测

(1)目的:测试封装后芯片的功能、性能、可靠性,剔除不良品。

(2)设备:分选机(将芯片逐个传送至测试位)、测试机(通过施加电信号并分析,验证芯片各类指标)。

(3)全球格局:爱德万、科林、泰瑞达主导。

(4)国内头部:长川科技、华峰测控、金海通


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